多晶硅還(huan)原爐(lu)冷卻水管路(lu)中的的流量開關應用

多(duo)晶硅還原爐(lu)冷卻(que)對于(yu)現(xian)場安全至關重要，如不能(neng)及時(shi)對冷卻(que)水進行監控(kong)，將引起氫氣泄(xie)漏，引起爆炸。熱式流量開關根據其(qi)產品特點——無可(ke)(ke)動部件，全(quan)不(bu)銹鋼材質，防護等級高可(ke)(ke)全(quan)面滿足化工(gong)(gong)行業尤其(qi)是(shi)在冷卻水或是(shi)潤滑油路上，是(shi)大多數(shu)化工(gong)(gong)企業常用的開關類儀表！

多晶硅還(huan)原爐(lu)(lu)主(zhu)要由底(di)盤、含夾套冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)的鐘罩式雙層爐(lu)(lu)體(ti)、電(dian)極(ji)(ji)、視(shi)鏡孔、混(hun)和氣(qi)(qi)進(jin)氣(qi)(qi)管(guan)、混(hun)和氣(qi)(qi)尾氣(qi)(qi)出(chu)氣(qi)(qi)管(guan)、爐(lu)(lu)體(ti)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)進(jin)水(shui)(shui)管(guan)、爐(lu)(lu)體(ti)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)出(chu)水(shui)(shui)管(guan)、底(di)盤冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)進(jin)水(shui)(shui)管(guan)、底(di)盤冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)出(chu)水(shui)(shui)管(guan)、電(dian)極(ji)(ji)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)進(jin)水(shui)(shui)管(guan)、電(dian)極(ji)(ji)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)水(shui)(shui)出(chu)水(shui)(shui)管(guan)及其他附屬部(bu)件組(zu)成，爐(lu)(lu)體(ti)主(zhu)體(ti)采用(yong)不銹鋼材(cai)質(zhi)。

熱式流量開關在(zai)多晶硅還原爐水冷(leng)卻中的應用(yong)

還原爐里面是(shi)用純的氫氣以(yi)及三氯氫硅，在1100°條件左右(you)進行(xing)反應，生成的硅沉積在硅棒表面(mian)，慢慢的生長(chang)，一(yi)般(ban)都要(yao)72小時(shi)以上時(shi)間(jian)不間(jian)斷的供料供電(dian)。爐壁式夾層，用循環水進行冷卻。

危險系數極高，主要體現在以下幾個方面：

1、冷卻水供(gong)應不上燒壞爐壁，濺落爐內造成爆炸(zha)；

2、電極和視(shi)鏡是(shi)整(zheng)個(ge)還原(yuan)爐最脆弱的(de)地方，一定要保證冷(leng)卻(que)水(shui)；

3、氫氣可能(neng)泄(xie)露，引(yin)起爆炸；

比利科技優質產品-熱式(shi)流量(liang)開關

工作(zuo)原理：

基于熱(re)式(shi)原理,在(zai)封閉的(de)探頭內包含兩(liang)個(ge)電(dian)阻，其(qi)中一個(ge)被加熱作為探測(ce)電(dian)阻，另一個(ge)未被加熱作為基準電(dian)阻,當有介(jie)質流(liu)動(dong)時，感(gan)(gan)熱傳感(gan)(gan)器所接收到的熱量(liang)將隨(sui)介(jie)質的流(liu)速變化(hua)而(er)變化(hua)，感(gan)(gan)熱傳感(gan)(gan)器將這溫差信號轉化(hua)成(cheng)電信號，在流(liu)速達(da)到某設定(ding)點時，熱式(shi)流(liu)量(liang)開關輸出開關量(liang)信號。

熱式流量開關原理圖

關(guan)特點(dian)：

無活動部件(jian)，免維護(hu)。

安裝方便，一種型號適用于多(duo)種管徑要求。

開關量連續調節，極(ji)低的壓(ya)力損失。

結構緊湊，LED顯示流動趨勢及開關狀態。

技(ji)術參數(shu)